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超精密主動減振系統(tǒng)
"高性能主動減振技術(shù)"是保證半導體制造裝備、精密檢測設(shè)備、量測設(shè)備、超精密加工機床等超穩(wěn)定工作的核心技術(shù)
Product Introduction
產(chǎn)品介紹

團隊歷時十余年,開展降減隔振頻率、減隔振動傳遞、穩(wěn)承載平臺、集系統(tǒng)設(shè)計的系統(tǒng)性研究,
在負剛度、變阻尼和減隔振-穩(wěn)姿協(xié)同方面具有獨創(chuàng)性成果, 研制40余種超精密減振器并形成標準,
性能媲美國際同類產(chǎn)品,相關(guān)成果獲國家技術(shù)發(fā)明二等獎、國家科技進步二等獎。

Technical advantages
技術(shù)優(yōu)勢
  • 突破系統(tǒng)全局的
    抑振設(shè)計技術(shù)

    提出環(huán)境-載體-抑振裝置-抑振對象的耦合動力學建模與分析方法,發(fā)明全球首臺電磁扭轉(zhuǎn)動剛度測試設(shè)備,構(gòu)建抑振裝置個性化設(shè)計、測評體系,實現(xiàn)了分析-設(shè)計-定制一體化系銃解決方案的突破。
  • 發(fā)明抑振-定位協(xié)同的
    位姿穩(wěn)定控制技術(shù)

    揭示定位和抑振耦合機制,提出絕對位置和速度反饋的協(xié)同控割策略,發(fā)明傳感器測量帶寬拓展方法,控制帶寬向低頻拓展十倍頻程,抑振一定位平臺位姿穩(wěn)定精度達納米級,國際最優(yōu)。
  • 發(fā)明無源頻變阻尼的
    寬頻域抑振技術(shù)

    揭示了氣、液、磁多種介質(zhì)和結(jié)構(gòu)耦合作用的阻尼頻變機制,發(fā)明了等效絕對阻尼的無源頻變阻尼構(gòu)型和結(jié)構(gòu),使共振區(qū)振幅降低90%以上,高預振動傳遞衰減速率接近-40dB/dec的極限。
  • 首創(chuàng)相斥磁性負剛度的
    近零頻率抑振技術(shù)

    提出相斥磁性負剛度抑振原理,發(fā)明了高承裁的近零頻率減隔振技術(shù)與裝置,噸級承載下固有頻率低至0.19Hz,是所見報道的國際最高水平。
Application scenarios
應(yīng)用場景

超精密主動減振系統(tǒng)是保證高端制造設(shè)備、精密儀器設(shè)備穩(wěn)定運行的關(guān)鍵,廣泛應(yīng)用于半導體制造各環(huán)節(jié)。
當前,超精密主動減振系統(tǒng)處于“卡脖子”狀態(tài),海外廠家市場占有率100%,我國長期空白。

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